گازهای با خلوص بالا در صنعت به طور معمول در مقادیر زیاد با خلوص بیش از 99.999٪ (بیش از درجه خلوص 5) تولید می شوند. ولی بر خلاف گازها، در مایعات یا جامدات، اطلاق کلمه خالص زمانی صورت می گیرد که درجه خلوص بیش از 3 باشد یعنی 99.9%. درجه خلوص برای نشان دادن ناخالصی های احتمالی در مقدار اندازه گیری شده یک گاز خالص یا مخلوط گاز استفاده می شود. ناخالصی هر ماده ای غیر از مولکول ها یا ترکیبات مورد نظر در یک مخلوط است. ناخالصی‌ها را می‌توان به روش‌های مختلفی معرفی کرد، اما در درجه اول در ماده خام به شکل خالص آن ذاتی هستند. این ناخالصی ها به نوع گاز و روش ساخت بستگی دارد.

کاربردهای زیادی برای گازهای خالص وجود دارد که در آنها خلوص حتی بالاتر از 99.999٪ مورد نیاز است. هم اکنون فناوری تولید و تحویل گازهای با خلوص بالا به تجارتی چند میلیارد دلاری در سراسر جهان تبدیل شده است و ژاپن و ایالات متحده اکثریت بازار را در اختیار دارند.

البته هیچ تعریف پذیرفته شده جهانی از اینکه چه سطوح خلوص با خلوص بالا مطابقت دارد وجود ندارد. یک تعریف خوب از خلوص بالا، گازهایی است که دارای ناخالصی های خاص در سطوح کمتر از 0.1 ppm هستند.

فناوری ساخت و تحویل گازهای با خلوص بالا تا حد زیادی برای پشتیبانی از ساخت مواد نیمه هادی پیشرفته مورد نیاز به عنوان بخشی از فرآیند کلی تولید مدارهای یکپارچه توسعه یافته است. الزامات خلوص در برخی از این مواد با کارایی بالا به جایی رسیده است که غلظت ناخالصی در گازهای شروع کننده به میزان 1 قسمت در 10 به توان 12 به کاهش بازده و عملکرد ضعیف در مدارهای یکپارچه منجر شده است. بسته به حجم مورد نیاز، گازهای با خلوص بالا را می‌توان با استفاده از سیستم‌های با حجم بالا، که توسط یک سیستم تولید کارخانه ای (با تأسیسات ذخیره‌سازی گاز مرکزی یکپارچه شده) و یا سیلندرهای کوچک، که توسط آن یک سیستم انتقال و توزیع کوچک از یک سیلندر فشار بالا (200 تا 300 بار) تامین می‌شود، تحویل داد.

گازهای مورد استفاده در ساخت مواد نیمه هادی به سه بخش اصلی تقسیم می شوند:

الف) گازهای بی اثر که برای محافظت از فرآیندهای تولید و جلوگیری از ورود ناخالصی ها استفاده می شود.
ب) گازهای منبع، که برای تامین مولکول‌ها و اتم‌هایی که پشت سر می‌مانند و به محصول نهایی کمک می‌کنند.
ج) گازهای واکنش‌دهنده، برای اصلاح مواد الکترونیکی بدون کمک واقعی اتم‌ها یا مولکول‌ها استفاده می‌شوند.

برای آشنایی بیشتر با گازها، انواع و طبقه بندی آنها به لینک ذیل ذیل مراجعه فرمائید:
>>> طبقه بندی گازها <<<